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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

フォーマット:
図書
責任表示:
金原粲著
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 東京大学出版会, 1984.3
形態:
ix, 231p ; 22cm
著者名:
金原, 粲(1933-) <DA00208588>  
書誌ID:
BN00164488
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