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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

フォーマット:
図書
責任表示:
小林春洋著
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 日刊工業新聞社, 1993.2
形態:
v, 172, viip ; 21cm
著者名:
小林, 春洋(1925-) <DA00045891>  
書誌ID:
BN08694157
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